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基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化

王向东 陈咏梅 王守觉 石林初

王向东, 陈咏梅, 王守觉, 石林初. 基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化. 自动化学报, 2001, 27(3): 289-295.
引用本文: 王向东, 陈咏梅, 王守觉, 石林初. 基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化. 自动化学报, 2001, 27(3): 289-295.
WANG Xiang-Dong, CHEN Yong-Mei, WANG Shou-Jue, SHI Lin-Chu. Neural Network-Based Optimization of Vlsi Wafer Fabrication. ACTA AUTOMATICA SINICA, 2001, 27(3): 289-295.
Citation: WANG Xiang-Dong, CHEN Yong-Mei, WANG Shou-Jue, SHI Lin-Chu. Neural Network-Based Optimization of Vlsi Wafer Fabrication. ACTA AUTOMATICA SINICA, 2001, 27(3): 289-295.

基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化

详细信息
    通讯作者:

    王向东

Neural Network-Based Optimization of Vlsi Wafer Fabrication

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    Corresponding author: WANG Xiang-Dong
  • 摘要: 以提高半导体生产线的成品率为目标,利用神经网络对半导体芯片生产过程进行了建 模和优化.首先使用神经网络方法建立模型,确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系, 构造多维映射函数曲面;随后对多维映射函数曲面进行搜索,搜索成品率最高的最优点,据此确 定工艺参数的规范值;最后,根据优化后的工艺参数规范进行实际生产.采用这种优化建议,半 导体生产线的平均成品率由51.7%提高到了57.5%.
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-02-03
  • 刊出日期:  2001-03-20

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